1 湖南大学 信息科学与工程学院, 湖南 长沙410082
2 湖南大学 物理与微电子科学学院, 湖南 长沙410082
基于10 nm尺度图形加工技术, 通过改变金属纳米结构的大小和形貌, 利用金属纳米结构的表面等离子体共振性能开发出SEM纳米彩色图片制作技术, 使得图形的像素在60 nm尺度可控(约100万dpi)。利用图像处理技术可以快速生成加工版图, 而通过电子束曝光和沉积技术则能够得到结构不同的Au/Ag纳米颗粒。结果表明: 由于结构不同的Au/Ag纳米颗粒的表面等离子体共振性能不同, 使其发光性能覆盖了可见光波段。本文通过改变Au/Ag纳米颗粒的大小, 利用图像处理算法对不同大小的Au/Ag纳米颗粒进行排列组合, 从而得到SEM纳米彩色图片。
表面等离子体共振 纳米加工 金属纳米结构 图像处理 plasmon resonance nanofabrication metal nanostructures image processing
1 School of Physics and Microelectronics Science, Hunan University, Changsha 410082, CHN
2 First Aeronautic College of Air Force, Xinyang 464000, CHN
